Configuraciones | |
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Estativo | AURIGA (Carl Zeiss) |
Software | SmartSEM |
Configuración | • Cañón electrónico - cátodo de Wolframio/Circonio • Columna - Gemini II, Zeiss • Cañón iónico - Cátodo de Galio, Canon • Columna FIB - Column, Canon • Sistema de inyección de gas - single needle GIS, Zeiss • Detectores - Secondary electron detector (SESI), Inlense EsB detector, Back scatter electron detector (BSD), Annular STEM detector. • Limpiador de plasma - Evactron 25 De-Contaminator, XEI Scientific • Sistema de cancelación de EMF - MK4 EMI Compensation System, IDE |
Capacidades | • Barrido • Transmisión • Cañón FIB (Focused ion beam) • Resolución de 1 nm |
